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胜利石英砂 常见问题

避免二氧化硅层表面的缺陷方法

  来源:www.lzgwf.com
  二氧化硅是石英砂的主要材料,也是很多石英制品的主要材料,但是应用当中,需要避免表面的缺陷,那么避免表面的缺陷方法主要有哪些呢?以下是具体介绍:
  1、石英管长期性应用,处于高温地区的石英管造成乳白色塑料薄膜,这类乳白色塑料薄膜的构造较为疏松,大气旋吹开或实际操作时振动就会导致粒子掉下去,落入硅片表面就会产生氧化层表面部分凸起。因此应提升对石英管的清理解决及适度拆换脆化的石英管是很须的。
  2、一定坚决杜绝水珠喷到石英管中,特别是在在湿氧或水蒸气氧化时,当温度过高,发生爆发式烧开时,通常会将水滴立即喷到石英管中,如落入硅片上,就会发生五颜六色斑点。此外清理过的硅片上如残余水渍,也会在氧化影片上发生斑点。
  3、如在二氧化硅表面存有黑斑时,黑斑处的氧化层对残渣的掩蔽功效很有可能无效,因而导致元器件特性下降,若有很大的突起黑斑时,还会继续导致光刻技术实际操作品质降低,危害全部芯管生产制造的良品率,因此在生产制造中应尽量减少发生黑斑。
  要想避免缺陷,那么我们就应该做到这几点。避免二氧化硅层表面产生缺陷导致其使用被影响。它的使用还是比较广泛的,就需要大家正确使用它们。